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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis Cover

Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Volume in the series
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
Publisher:KIT Scientific Publishing
By:   
Open Access
|Mar 2022
Metrics

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Paperback ISBN: 978-3-7315-1121-2 | DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000136062
Publisher: KIT Scientific Publishing
Publication date: 2022
Language: German
Pages: 220
Keywords:
MEMS-Sensor,
Drehratensensor,
Inertialsensor,
Dämpfung,
Q-Faktor,
MEMS sensor,
gyroscope,
inertial sensor,
damping atmosphere,
Q factor
Related subjects:
Engineering,
Electrical engineering,
Automation
BISAC subjects:
TEC004000
Thema subjects:
TJFM

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